珠海英福康bpg400真空计定期维修欢迎来电广东潽拓光电

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INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG400, 将两种真空计集成在一个简单小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG400 用于普及和可再现过程中的基本压强测量.

用途

■ 半导体工艺过程和传输室中的压强测量

■ 工业镀膜

■ 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

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2000 年 6 月，由瑞士公司 OC Oerlikon(前身为 Unaxis)于 1996 年合并的三个真空产品公司旗下的仪表业务部门组成 INFICON真空计。

Leybold UL200氦质谱检漏仪,同Inficon UL200氦质谱检漏仪。

Leybold UL200氦质谱检漏仪*检测到up to 5 x 10-10 mbar l s-1.

Leybold UL200检漏仪真空系统采用Leybold turbovac 35LS分子泵系统,稳*可靠。

电离真空计常见故障判断处理

显示数值不稳定

解决方案：(1)检查离子收集极是否与系统其他物体有接触;

(2)取下离子收集极.丑于悬空状态，显示是否稳定;若不稳定则是真空计本身出现问题;若稳定，则说明是真空系统漏气所致;

(3)用未开封的真空规管点亮，测其真空度，显示是否稳定，若不稳定则是真空计本身出现问题;若稳定，则说明是真空系统漏气所致

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危害热阴极水解真空计测量低值的原因是什么？怎样改善？

答：电子器件打进搜集极上造成软X射线辐射源，正离子搜集极消化吸收了软X射线会造成光电材料发送，从而产生的电子器件电流量恰好与正离子电流的方向一致，故累加在一起，但此电流量与工作压力不相干，当工作压力下降到产生的电离电流量显著低于光电流时，搜集极的离子流便不会再随工作压力转变，即抵达测量低值。扩大离子流，减少光电流可以使测量低值的扩展。

薄膜电容规

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。

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什么是泄漏，该如何检漏？

一般指工业中不应该流出或漏出的物质或流体，流出或漏出机械设备以外，造成损失，称之为泄漏。而泄漏的原因一般是由压力差和浓度差的作用，如：

1、渗漏：即在压力差作用下，被密封的介质通过密封件材料的泄漏称为渗漏；

2、扩散：即在浓度差作用下，被密封的介质通过密封材料间隙产生的物质传递称为扩散。

泄漏的预防和消除，对于以上任一因素都可以阻止或减少泄漏。就一般设备而言，减小或消除间隙是阻止泄漏的主要途径。